测量参数

Ra  Rz==Ry(JIS)  Rq  Rt==Rmax  Rp  Rv  R3z  R3y  Rz(JIS) Rs  Rsk  Rku   Rsm  Rmr  RPc  Rk  Rpk  Rvk  Mr1  Mr2

测量范围

Ra： 0.005 um ~ 16.00 um  

显示范围

Ra,Rq： 0.005 um ~ 16 um ；Rz, Rv ,R3z,Rt,Rp,R3z,： 0.02 um~ 160 um

Rsm, Rs：1mm；Rmr：0~100%；Rsk：0~100%

示值精度

0.001um

量程范围

±20um，±40um，±80um

取样长度L

0.25 ， 0.80 ， 2.50，自动

评定长度

1L~5L（可选，L为取样长度）

测量行程长度

3L~7L（可选，L为取样长度）

最大驱动行程长度

17.5mm / 0.71 inch

最小驱动行程长度

1.3mm / 0.052 inch

示值误差

≤±7%

示值变动性

＜6%

针尖角度

90°

传感器

测量原理

位移式差动电感

触针

天然金刚石，90锥角，5μm针尖半径

测力

<4mN

导头

硬质合金，滑行方向半径40mm

滑行速度

lr=0.25,   Vt=0.135mm/s

lr=0.8,    Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5,    Vt=1mm/s

测量轮廓

粗糙度，波纹度，原始轮廓

滤波器

RC,PC-RC,Gauss,D-P

内部存储能力

100组数据

数据接口

USB